真空泵通常采用密封裝置確保內(nèi)部真空度，常見的密封形式有機(jī)械密封和動密封兩種。機(jī)械密封是利用靜密封面和動密封面的相對運(yùn)動實(shí)現(xiàn)密封，常見的機(jī)械密封有干式機(jī)械密封和液環(huán)密封。

干式機(jī)械密封是通過兩個平行密封面之間的相對滑動摩擦實(shí)現(xiàn)密封，適用于工作環(huán)境較清潔的真空泵。液環(huán)密封則是通過在密封相對運(yùn)動部位注入液體實(shí)現(xiàn)密封，適用于工作環(huán)境較臟的情況。

動密封則是通過密封氣體與環(huán)境氣體之間的相對流動實(shí)現(xiàn)密封，常見的動密封有旋轉(zhuǎn)密封和移動密封。旋轉(zhuǎn)密封一般采用旋轉(zhuǎn)軸與固定密封件之間的相對旋轉(zhuǎn)來實(shí)現(xiàn)密封，可以承受較高的轉(zhuǎn)速。移動密封則是通過活塞或活塞環(huán)與密封孔之間的相對運(yùn)動實(shí)現(xiàn)密封，適用于高真空度的泵。